Морфология, оптические и адсорбционные свойства слоев оксидов меди, осажденных из растворов комплексных соединений

L. B. Matyushkin, A. A. Reshetnikova, A. O. Andronov, P. K. Afonicheva, S. V. Myakin, N. V. Permiakov, V. A. Moshnikov

Физика и техника полупроводников, 51 (5), 615, 2017

Аннотация

Рассмотрена методика синтеза газочувствительных слоев оксидов меди, полученных путем послойного осаждения на стеклянные и полимерные подложки по реакции окисления молекул аммиачного комплекса меди перекисью водорода. Слои, синтезированные при различном количестве циклов наслаивания, исследованы методами атомно-силовой микроскопии и спектроскопии пропускания (300-1000 нм). Форма спектров указывает на смешанный характер оксида с преобладанием оксида меди (I) Cu₂O с соответствующей шириной запрещенной зоны 2.1 эВ. Слои обладают сплошной зернистой структурой. Определенная химическим индикаторным методом поверхностная концентрация бренстедовских кислотных центров адсорбции с pKa~ 2.5 (ОН-групп кислотного характера) составляет для исходных пленок 560 мкмоль/м2 и возрастает в три раза при термическом воздействии 80oC в течение 30 мин. Полученные результаты представляют интерес в использовании описанной технологии для создания активных слоев оксида меди в газочувствительных сенсорах, работающих при комнатной температуре.

Как цитировать

@article{semiconductors-cuoxide-2017,
  author = {Matyushkin, L. B. and Reshetnikova, A. A. and Andronov, A. O. and Afonicheva, P. K. and Myakin, S. V. and Permiakov, N. V. and Moshnikov, V. A.},
  title = {Morphology, Optical, and Adsorption Properties of Copper-Oxide Layers Deposited from Complex Compound Solutions},
  journal = {Semiconductors},
  volume = {51},
  number = {5},
  pages = {586--590},
  year = {2017},
  doi = {10.1134/s1063782617050165}
}

Все работы